等离子体是如何有效改善环氧填料的电气性能

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等离子体技术作为一种高效、可控的改性方法，可以有效改善环氧填料的电气性能。采用大气压低温等离子体技术对微米AlN填料进行氟化处理，控制不同的氟化时间，测试改性后的环氧树脂试样的微观形貌、化学组分、电荷特性及沿面闪络特性。

等离子体氟化45min后，填料平均粒径降低26%，填料氟化45min，氟元素占比达到38.55%。随着氟化时间增加，环氧树脂样初始积聚电荷量降低，闪络电压呈现先增加后降低的规律，在对填料氟化45min时，闪络电压提升很明显，较未氟化填料提升了约39.9%，两参数韦布尔分布表明闪络电压分散性也有所降低。等离子体填料处理提升环氧树脂电气性能的可行性，处理方法高效稳定，性能提升明显，为AlN及其他填料的改性提供了新的研究思路。

对绝缘材料配方体系的改性，可以从源头处提升绝缘子性能，因此大量的学者通过在绝缘材料中添加无机填料的方法，进一步提高材料电荷消散率，综合改善聚合物的绝缘性能。AlN作为一种新型无机填料具有高导热性、热膨胀系数低等众多优点，受到国内外学者的广泛关注，研究表明，添加微米AlN后的环氧树脂不仅提高了导热率，同时力学性能也有所提升。但相比传统的Al2O3等填料，添加AlN后的环氧树脂绝缘性能有所下降，限制了AlN在环氧树脂配方填料中的应用。

结合大气压低温等离子体技术高效节能、设备简单、操作简便、控制性强、产量高等优点，采用介质阻挡放电的形式，在大气压环境中对微米AlN填料进行等离子体氟化处理，通过扫描电镜（ScanningElectronMicroscope,SEM）、X射线光电子能谱分析（X-rayPhotoelectronSpectroscopy,XPS）、傅里叶红外光谱（FourierTransformInfrared,FTIR）分析添加改性微米填料后的环氧树脂的微观特征，研究改性后试样的电荷消散特性和闪络特性，寻求微米AlN填料的改性方法。

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